2025-08-12
有效改善真空泵抽空时间的几点建议
真空系统泄露率, 管道流导, 真空室中存在的蒸发液体, 污染物等都会影响抽空时间. 上海伯东代理德国 Pfeiffer 根据多年实践经验, 提供有效建议, 改善真空泵抽空时间, 协助企业降本增效.
确认需要达到的最终压力
根据真空范围, 使用环境, 选择合适的真空泵
低真空: 1000 至 1 mbar, 可选旋片泵, 涡旋干泵, 隔膜泵, 螺杆泵, 多级罗茨泵, 罗茨泵
中真空: 1至 10-3 mbar, 可选双级旋片泵, 涡旋干泵, 螺杆泵, 多级罗茨泵, 罗茨泵站
高真空: 10-3 至 10-7 mbar ,可选分子泵组或前级泵+分子泵
选择合适的泵的抽速
泵抽空时间决定了所需泵的抽速. 一般根据客户要求的抽空时间, 选择所需泵的抽速. 所需抽速取决于泵的抽空时间, 抽速越大, 抽空时间相对越短.
如何改善真空泵抽空时间: 减少真空系统管道长度
通过对比 DN 100 真空泵在如下三种情况下的抽速, 得到结论: 通过优化入口管道, 比如限制连接管道的长度 (泵放在靠近真空腔的地方) 和管道中阀门和弯管的数量, 管道直径和泵进气口一致. 可以有效改善真空泵的抽空时间.
* 名义抽速: 真空泵与腔体之间没有管道连接, 直接连接
如何改善真空泵抽空时间: 保持腔体洁净和干燥
气体分子(主要是水)吸附在真空腔体的内表面, 并逐渐在真空下再次蒸发
通过下图三种形式对比可知, 干燥空气或氮气排空可缩短排空时间, 腔体使用氮气排气, 腔体电抛光达到低解吸率, 可以改善真空泵抽空时间. 相反, 肮脏潮湿的腔体会延长排空时间.
如何改善真空泵抽空时间: 降低真空泵本身泄露率
泄漏率是指真空泵在工作状态下泄漏的气体量, 泄漏率越低, 真空泵抽取气体的效率越高, 建立真空环境的速度也越快. 泄漏率受到真空泵密封性能和泵体结构等因素的影响. 上海伯东德国 Pfeiffer 分子泵 HiPace 整体泄露率 < 1X10-7 mbar l/s. 涡旋干泵 HiScroll 整体泄露率 < 5X10-6 mbar l/s.
型号
分子泵 HiPace
涡旋干泵 HiScroll
旋片泵 Duoline
多级罗茨泵 ACP
图片
整体泄露率
< 1X10-7 mbar l/s
< 5X10-6 mbar l/s
< 1X10-4 mbar l/s
< 5X10-7 mbar l/s
上海伯东代理德国 Pfeiffer 提供适用于低真空, 中真空和高真空的各类旋片泵, 涡旋干泵, 隔膜泵, 螺杆泵, 分子泵和多级罗茨泵等. 满足工业, 科研, 半导体应用, 上海伯东根据多年经验, 协助客户选型, 有效改善真空泵的抽空时间. 协助企业降本增效！
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